3月23日，由中国集成电路创新联盟主办的“2024集成电路产业链协同创新发展交流会暨中国集成电路创新联盟大会”在北京召开。

中国集成电路创新联盟，是由集成电路全产业链龙头企业、高校、研究院所和社会组织等共同发起成立的非营利性创新组织。

会上举行了“第七届集成电路产业技术创新奖”（IC创新奖）颁奖典礼。沃特塞恩的固态微波远程等离子体源（RPS）系统凭借先进的设计、优秀的性能荣幸获得第七届“IC创新奖”-成果产业化奖。该奖项肯定了该项目在集成电路技术创新和产业化方面取得的突出业绩。

在全球新一轮经济技术竞赛和国家“强芯”战略的重大机遇下，沃特塞恩依托自身技术、人才等优势快速发展，始终坚持技术创新从而力求实现自身的可持续发展。沃特塞恩将一如既往积极推进自身技术进步与产业升级，为推动半导体核心装备零部件的国产化替代贡献一份自己的力量！

固态微波远程等离子体源图示

固态微波远程等离子体源（RPS）是一种用于产生等离子体的装置，通常用于光刻胶去除、材料干法清洗、腔体清洗、原子层沉积、材料改性等场景中。RPS是半导体、芯片制造过程中的核心装备。它用离化后的氟来清洗沉积在芯片结构内部的硅粉尘。在半导体、芯片等制程中，随着时间的增加，在芯片内部和表面都会沉积大量的硅粉尘。RPS能够提供大量离化氟，对真空条件下的各类结构体进行蚀刻清洗。

沃特塞恩固态微波远程等离子体源系统主要由AC-DC电源、3kW固态微波源、远程等离子腔、微波传输波导及隔离器组成。

沃特塞恩固态微波远程等离子体源的优势如下：

1、采用最新技术固态微波源，具有极高的功率、频率稳定度

2、晶圆到晶圆的高度可重复性

3、很宽的工艺窗口，适应各种工艺条件使用

4、快速启辉能力（各种工艺下小于2s）

5、可使用手动/自动匹配灵活调节，减小反射功率

6、多种Tube材质可供选择

7、耗材更换、维护清洁简单，除Tube外几乎无多余耗材