低气压下的等离子体属低温等离子体，其特征是电子温度比原子（分子）温度高得多。由于等离子体中各种粒子间以及它们与固体表面间发生的各种物理、化学过程，从而产生等离子体刻蚀、微波等离子化学气相沉积、等离子体表面改质与等离子体催化．

一、等离子体法如何形成薄膜材料？

由气体放电法产生的等离子体从电场获得 能量．在低气压下，各种粒子不断地碰撞，由于电子和正离子、原子（或分子〕的质量不同，因此它们间交换能量是不同的，结果，电子、正离T和原子（或分于〕的动能（如近似地假定它们的速率符合麦克斯韦分布）不同，或者说温度也是不同的．电子温度比气体温度要高得多（正离子温度接近于气体原子温度）．这种等离子体称为低温等离子体（或称非平衡等离子体）．随着气压的增高，由于粒子间碰撞频繁，各种粒子 逐渐趋向于相同的温度．

在等离子体中，电子从等离子体的电场中获取能量，它们不断地和气体原子（或分子）进行碰撞（弹性的和非弹性的），从而引起原子（或分子）的激发、解离和电离，因此在等离子体中， 除了存在着电子、正离于和原子（分子）外，还有被解离的原子和原子团（游离基），受激原子（分子）以及受激的正离子、光子．在容易形成负离子的气体中，还存在着负离子．这些众多的，具有一定能量的粒子间以及它们和固体表面将发生复杂的物理和化学的过程，可以进行化学，甚至光化学所不可能进行的化学过程，从而在可能形成新的薄膜材料。

二、等离子体和固体表面的反应作用

等离子体和固体表面可以产生以下几方面的作用：

1.等离子体和固体表面物质进行反应，生成新的气态物质一等离子体刻蚀.

2.等离子体中各粒子间进行化学反应，所生成的物质沉积于固体表面一微波等离子体化学气相沉积.

MPCVD 目前已广泛应用于制备单晶、 多晶、无定形、超微粒等各种薄膜功能材料．

3. 等离子体和固体表面物质反应，在表面形成新的固态物质一等离子体的表面改质

4. 等离子体通过固体表面产生气相合成一一等离子体催化反应．