微波发生器可以是一种晶体管,大功率则是电子管。

微波能量是由微波发生器产生的，可以产生微波的器件有许多种，但主要分为两大类：半导体微波器件和电真空微波器件。

微波源是微波发生器的核心，它将直流电能转变成微波能。

目前常用的是固态微波源与磁控管。磁控管是属于电真空微波器件，固态微波源属于半导体微器件，其原理是采用的是全固态半导体来激发微波能量。随着近几年固态微波源的上市，已经逐步在各个领域替代了磁控管的应用。

固态微波源在于寿命长（相对于磁控管5000小时的寿命），可靠性好，精确（频率精准控制，无杂散），均匀性好（双路以上可精确调整功率大小，相位，占空比）。