项目 | 典型值 | 单位 |
使用微波频率 | 2450 | MHz |
工作使用微波功率(氩气) | 5~40 | W |
所需气体流量(氩气) | 3/4---6/8 | slm |
热偶长时间测试温度(@氩气@1min) | 50~150 | ℃ |
工作使用微波功率(压缩空气) | 120~200 | W |
所需气体流量(压缩空气) | 8~25 | slm |
热偶长时间测试温度(@压缩空气@1min) | 65~200+ | ℃ |
适用气体 | Ar、O2、N2、H2、air |
|
气嘴接口 | 外径Ø6(连接PU气管) | mm |
喷枪重量 | 小于2Kg |
. 采用的固态微波源工作稳定,稳定度高、使用寿命长
. 可使用多种气体,等离子温度可调整,可适应多种应用
. 整体功率小、处理效率更高
. 体积小、重量轻、
. 控制方式简单
常压等离子体喷枪无需真空系统,具有设备体积小、制造和维护成本低等优点,并且由于被处理材料尺寸不受真空腔体体积的限制,易于实现自动化连续处理。同时,对于仅需清洗局部位置的材料,可提供精细化的处理,不会像真空腔清洗方式被全部处理。
静电敏感电子元器件部件的表面预处理(半导体封装)
光学镜面镀膜预处理
特殊材料涂覆前预处理
粘接预处理
微波低温等离子喷枪
常压低温等离子喷枪由微波输入接口、进气口、自动点火装置组成。
可与微波源、气体输入控制装置、总系统控制等组成微波常压低温清洗设备系统。
固态微波源
. 可提供功率稳定(0~200W)、频率精确的(2450MHZ)的微波能量
. 微波能量经由N型母头输出,可连接同轴线延长到设备所需位置(线长超过1米需注意线材损耗)
. 控制方式使用模拟信号IO方式控制,上位机软件仅可实时读取微波源信息
. 完善的保护机制,可对反射功率过大、温度过高、功放电流过大自行断电保护,同时在设备LED上显示
. 微波源直流+28V供电,风扇+24V~+28V供电
微波源详细参数请点击WSPS-2450-200-CMFB产品详情页处查看