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200W固态微波源
低温等离子喷枪
微波常压低温等离子喷枪

微波常压低温等离子喷枪是专业应用于等离子清洗、材料预处理的低温等离子体发生装置。

微波等离子体(此处特指2450MHz频率),相较于中频、高频、射频等电磁频段,其振荡频率更高,可使等离子体中的电子在更小的功率下可以获得更多的能量,等离子体中的电子密度和活性反应物质密度更高。

低温等离子体中电子温度远高于离子温度,在具有高能活性可以处理被加工材料表面的同时,在材料表面产生的热效应小,不会使材料被热解或烧蚀,具有独特的应用价值

技术参数

项目

典型值

单位

使用微波频率

2450

MHz

工作使用微波功率(氩气)

5~40

W

所需气体流量(氩气)

3/4---6/8

slm

热偶长时间测试温度(@氩气@1min

50~150

工作使用微波功率(压缩空气)

120~200

W

所需气体流量(压缩空气)

8~25

slm

热偶长时间测试温度(@压缩空气@1min

65~200+

适用气体

ArO2N2H2air

气嘴接口

外径Ø6(连接PU气管)

mm

喷枪重量

小于2Kg



产品优势

. 采用的固态微波源工作稳定,稳定度高、使用寿命长

. 可使用多种气体,等离子温度可调整,可适应多种应用

. 整体功率小、处理效率更高

. 体积小、重量轻、

. 控制方式简单

常压等离子体喷枪无需真空系统,具有设备体积小、制造和维护成本低等优点,并且由于被处理材料尺寸不受真空腔体体积的限制,易于实现自动化连续处理。同时,对于仅需清洗局部位置的材料,可提供精细化的处理,不会像真空腔清洗方式被全部处理。


应用范围

静电敏感电子元器件部件的表面预处理(半导体封装)

光学镜面镀膜预处理

特殊材料涂覆前预处理

粘接预处理


外观尺寸

微波低温等离子喷枪

常压低温等离子喷枪由微波输入接口、进气口、自动点火装置组成。

可与微波源、气体输入控制装置、总系统控制等组成微波常压低温清洗设备系统。


denglizipengq


固态微波源

. 可提供功率稳定(0~200W)、频率精确的(2450MHZ)的微波能量

. 微波能量经由N型母头输出,可连接同轴线延长到设备所需位置(线长超过1米需注意线材损耗)

. 控制方式使用模拟信号IO方式控制,上位机软件仅可实时读取微波源信息

. 完善的保护机制,可对反射功率过大、温度过高、功放电流过大自行断电保护,同时在设备LED上显示

. 微波源直流+28V供电,风扇+24V~+28V供电

微波源详细参数请点击WSPS-2450-200-CMFB产品详情页处查看


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