项目 | 通用指标 |
频率 | 2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40MHz/60MHz |
频率误差 | 0.005% |
额定输出功率 | 30W-6kW；50W-10kW |
功率模式 | Forward power；load power |
功率步进 | 1W（最小0.1W-低功率高精度模式，5W开始） |
功率重复性（同一电源） | ±0.5% |
整机效率（额定功率下） | 63%-6kW；60%-10kW |
散热方式 | 水冷+风冷 |
通信接口 | Analog/Ether CAT/RS232/Ether NET/local |
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连续波
脉冲波
ICP/CCP干法刻蚀
PECVD
