微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点，其等离子体发生室和处理室可分合，工艺灵活

微波等离子体大气压环境下产生的一种微等离子体,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等离子体。

影响微波杀菌效果的因素主要有两个方面：食品的介电性质对杀菌效果的影响，微波的功率、处理时间和温度

微波加热则属于内部加热方式，电磁能直接作用于介质分子转换成热，且透射性能使物料内外介质同时受热，不需要热传导，而内部缺乏散热条件，造成内部温度高于外部的温度梯度分布

目前已经得到了人体组织的介电特性及各种组织器官在不同频率下的介电常数、介电损耗。当组织病变时，其形态或结构发生变化，用微波技术​测量这些介电特性的变化可用作诊断疾病的基础。