近日,成都沃特塞恩电子技术有限公司(以下简称:沃特塞恩)申请的发明专利“一种反应腔组件、MPCVD系统及MPCVD系统控制方法”(专利号:ZL 2023 1 0308224.8)成功获得国家知识产权局授权。发明专利标志着一个企业的自主创新能力和水平,是专业知识和行业经验的结晶,有助于提升企业的软实力和市场竞争力。
一种反应腔组件、MPCVD系统及MPCVD系统控制方法
本发明提供了一种反应腔组件、MPCVD系统及MPCVD系统控制方法,属于微波系统领域。上述系统包括机架及上述反应腔组件,反应腔组件的内腔中设置有隔离板,通过隔离板上设置有多孔陶瓷对腔体中的粉尘进行吸附,从而降低反应腔中的粉尘含量;进而能够确保反应腔中的反应能够正常进行。而上述控制方法主用于控制上述MPCVD系统,其主要是对上述MPCVD系统进行智能控制,从而能够实现自动切换可用气流通道;并及时提示工作人员更换不可用多孔陶瓷;进而保证整个系统的正常运行,提高了整体的工作效率。截止目前为止,公司累计拥有专利259项,其中发明专利30项,实用新型专利126项,外观设计专利103项。自沃特塞恩成立以来,我们一直坚持不懈地努力投入产品研发和制造中,在每一个细节中渗透着“工匠精神”。未来,沃特塞恩仍会以创新技术为支撑,加强知识产权的管理和保护,为公司的高质量发展持续赋能。