微波等离子体技术在等离子体刻蚀、等离子体增强化学气相沉积、等离子体引发聚合、等离子体表面处理和改性等领域具有广阔的应用前景。微波电源作为激发和维持微波等离子体的直接电源，起着非常重要的作用。其微波输出功率直接决定了各种等离子体参数，而等离子体参数直接影响加工效果。

一般来说，为了保持工艺处理效果的稳定性，等离子体必须具有稳定或稳定的参数，这就要求微波电源具有稳定或稳定的输出功率。在微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石薄膜的过程中，通常需要微波源在高功率条件下稳定工作100h-200h。由于电网波动等干扰因素的影响，微波源在高功率条件下很难长时间工作。因此，研制一种能在高功率条件下长期稳定工作的微波源非常有必要，沃特塞恩一直致力于这项研究。

在微波放电等离子体装置中，此前一般都采用磁控管作为大功率微波的产生器件，但是磁控管的不稳定性、故障率高等缺点也显而易见的，沃特塞恩经过多年研究，研发出了一款优于磁控管的高稳定性、高可靠性的半导体微波源—固态微波源。

固态微波源是一种优于磁控管的新型微波能设备，采用了新型LDMOS器件和全固态设计方案。虽然价格和成本都高于磁控管，但其优势不容忽视。

固态微波源优于磁控管的性能如下：

高度可控-固态微波源可以在设备运行期间实时反馈和调整频率、相位和功率

可靠且高效-与磁控管相比，使用寿命延长数十倍；输出功率稳定性高；长期运行无衰减

安全使用-微波泄漏小，符合国家安全标准，工作电压需求大大降低至50V DC，电源系统简单

设计灵活-比磁控管集成度更高，更容易实现小型化封装；模块化设计便于扩展和更换

目前，沃特塞恩6kw微波源、10kw微波源等产品已经广泛用于微波等离子体设备中，尤其是6kw微波源已经批量用于微波等离子体CVD设备的应用中了，并深受广大用户的认可！