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MPCVD方法制备高质量人造合成钻石的过程解析

CVD钻石百科

2023-12-25 10:30:23

来源:整合于网络,侵删

作者:沃特塞恩微波源

MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)是一种制备高质量人造合成钻石的常用方法。这种方法是将含碳气体(甲烷)注入真空室,让其结晶沉积在合成钻石晶种上,以此来合成钻石的一种方法。使用微波等离子体化学气相沉积法所需的温度更低,压力更小,且前期设备成本比高温高压法低。近年来微波等离子体化学气相沉积法已逐步成为合成人工合成钻石的主流方法之一,具有十分广阔的发展前景。



简单来说,MPCVD钻石培育的过程包括以下步骤:


1.生长前预处理:在MPCVD生长之前,需要对基片台、腔体、晶种等进行预处理,包括清洗、去除氧化层和加热。晶种通常使用金刚石片或硅片。


基片台预处理


2.气相混合物准备:将甲烷和氢气混合后通入反应室中。甲烷是碳源,而氢气是还原气体。


3.等离子体激发:将微波能量导入反应室,产生等离子体。等离子体激发甲烷分子中的碳碳键,将其分解为自由碳离子和氢分子。


4.沉积:自由碳离子在基板表面沉积,并形成钻石薄膜。氢气在反应室中扮演还原剂的作用,防止钻石薄膜上的碳形成石墨。


5.控制生长条件:为了获得高质量的钻石薄膜,需要控制生长条件,如反应室温度、气体流量和压力等。


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6.钻石薄膜剥离:生长完成后,将钻石薄膜从基板上剥离下来。


7.钻石薄膜后处理:为了去除表面缺陷,通常需要进行后处理,如热处理或化学处理等。


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8.切割和抛光:生长出来的人工合成钻石晶体需要进行切割和抛光,以得到适合制作首饰等产品的形状和表面质量。切割通常使用钻石切割工具,在晶体的特定方向上进行,以尽量减少损耗和浪费。抛光则需要使用高精度的抛光机和多种磨料,逐步将晶体表面打磨至光滑并去除任何瑕疵和瑕疵。


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9.染色(可选):如果需要制作彩色人工合成钻石,则可以在制作过程中添加不同的化学材料,以改变钻石的颜色和饱和度。常用的染色剂包括硅、镁、钛等,具体选择取决于所需的颜色和质量要求。



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