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微波等离子体和等离子体两者有什么区别?

常见问题

2020-02-18 10:30:39

来源:wattsine

作者:wattsine

等离子体是物质存在的第四态,比气态能量更高,等离子体是良导体,受磁场影响。等离子体包括微波等离子体,后者只是等离子体产生的方法之一。

微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点。微波等离子体具有无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点,其等离子体发生室和处理室可分合,工艺灵活。


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