微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点，其等离子体发生室和处理室可分合，工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点，具体如下：

1、能在高气压下维持等离子体；

2、等离子可以采用磁约束的方法，约束在约定的空间内，微波结和磁路可以兼容；

3、有较高的电离和分解程度；

4、没有内部电极，在等离子容器内，没有工作气体以外的任何物质，是洁净的，无污染源；等离子发生器可以保持长寿命；

5、电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高，运载气体保持合适的温度。这个特性，在气相沉积的情况下，可使基底的温度不会过高；

6、微波等离子体在许多情况下是一种比较宁静的等离子体，不象直流放电那样伴随很高的噪声级；

7、微波发生器是稳定的，易控的；

8、安全因素高，高压源和微波等离子体发生器能互相隔离，这是直流等离子体不能达到的；

9、微波泄漏小，容易达到辐射安全标准，这是高频感应等离子体难以达到的。