微波等离子体技术属于低温等离子体中的一种，相对于电弧放电等离子体，微波等离子体具有温度低、基本无等离子体噪声、微波发生器相对稳定等特点。

微波发生器产生微波，经由波导管传输到微波电极上，电极末端周围形成强烈的微波场，进而击穿周围的气泡，产生等离子体，与辉光放电相似，微波等离子体产生的时候不会形成通导的等离子体通道，其等离子体效应集中在电极附近与气泡附近，能量更为集中。微波等离子体产生的同时，伴随着强烈的理化效应，可产生空化效应和生产大量的活性化学物质，比如·OH、·O、·HO2等自由基和双氧水、臭氧等强氧化物质，针对高浓度的难生物降解的有机污水有良好的处理效果。

相对于传统的生物法、催化氧化法等有机废水处理方法，微波等离子体具有处理效率高，无二次污染，能耗低等突出的优势，有巨大的市场应用前景和经济、环境、社会效益。