等离子体如果遇到微波，二者就会产生相互作用。微波法就是利用二者的相互作用产生的可视变化，得到描述等离子体特征参量的方法。等离子体中有微波通过时，微波器件会有一系列的变化，微波在等离子体中也会表现出相位移动、微波折射、反射等物理现象。在实验中，我们可以测得微波在等离子体中的位移量、衰减量等相关物理量；再通过理论分析，可以推测出等离子体中粒子的碰撞频率和电子密度等参量，从而确定等离子体的特性。

通过微波在等离子体中通过产生的物理现象测量数据并推测等离子体特性的诊断过程称为微波传输的测量。此测量过程可使用两种方法，自由传播法和空腔法。自由传播法还可以细分为微波反射测量、衰减测量、相位移动测量等基本方法。

微波法除微波传输的测量之外，还有一种可以诊断等离子体特性的方法，即等离子体微波辐射的测量。等离子体微波辐射测量的基本原理与微波传输测量有些差别，等离子体微波辐射不用借助外来电磁波谱，而是直接测量等离子体本身的黑体辐射、相干辐射、回旋辐射等物理量，通过测得等离子体辐射发出的电磁波的参数判断等离子体特性。