物质除固，液，气三种状态外，还有第四种状态，即等离子体状态。气体在外力的作用下发生电离，产生数量相等，电荷相反的电子和正离子（包括分子，离子和原子）以及游离基（电子，离子和游离基之间又可复合成原子和分子）。就总体而言是电中性的故此称之为等离子体。

而目前等离子体被分为两大类，即高温等离子体与低温等离子体，今天，我们着重讲一下低温等离子体中的微波等离子体。

微波等离子体大气压环境下产生的一种微等离子体,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等离子体。

而微波等离子体在具体运用中，有什么优势特点呢？

一、活性强。微波等离子体对气体的电离和离解程度比其他类型的等离子体(如电弧等离子体)高10倍，微波等离子体中自由电子的温度高于离子的温度。

二、反应区内没有电极,消除电极自身造成的污染。

三、区内的压力能在很宽范围内进行调整。

四、利用微波电磁场的分布特点,有可能把等离子体封闭在特定空间；也可以利用磁场来输送等离子体,这样做的目的是让工艺加工区域与放电空间分离。