随着科技的发展，微波等离子体技术已经广泛应用于科学技术及国民经济各个领域中，在新能源、新材料、手机制造、半导体、生物医疗和航空航天等行业取得了巨大成功。

中国物理学专家刘成森在美国具有影响力的权威期刊Journal of Applied Physics(《应用物理杂志》)上发表了一篇Monte Carlo simulation of ions inside a cylindrical bore for plasma source ion implantation(《等离子体源离子注入圆柱孔内离子的蒙特卡罗模拟》)的论文。

该论文主要通过利用蒙特·卡罗技术给出了离子在不同压力下注入材料表面的模拟结果，得出了离子注入圆柱孔内表面时的冲击能量和角度分布。这项研究成果具有实际应用意义，对于确定离子注入深度分布和表面溅射效应方面具有非常重要的指导价值。

微波等离子体技术的发展，促进了等离子表面清洗设备的研发制造，催生出了诸多如沃特塞恩这样类型的远程等离子体源设备厂家，专业提供等离子技术解决方案的高新技术企业。

微波等离子体技术备的应用，将材料暴露于非聚合性气体的等离子体中，利用等离子体轰击材料表面，引起材料表面结构的许多变化而实现对材料的活化改性功能。

微波等离子体技术对材料表面改性的功能层极薄（几到几百纳米），不会影响材料整体宏观性能，属于一种无损工艺。等离子体表面改性还可以利用等离子体聚合或接枝聚合功能在材料表面生成超薄、均匀、连续无孔的高功能，实现疏水、耐磨、装饰等功能。

微波等离子体技术的等离子体对高分子材料进行表面改性，以达到高性能或高功能，是经济、有效地开发新材料的重要途径。

微波等离子体技术对材料表面的处理应用，提升了材料的使用性能和运用效益，从而达到对产品效益的提高。这既是提高了社会生产效率，提升了生产工艺水平，也是一种对等离子体技术的认可。

沃特塞恩提供的固态微波远程等离子体源系统引进了德国领先的等离子体技术，主要由等离子体放电腔、高效率固态微波源、微波传输及调配器组成。专业应用于材料表面处理。

固态微波远程等离子体源系统

等离子体源离子注入是用于材料表面改性的一种新型的、低成本的、非视线技术，现已成功应用于材料表面加工领域。由于材料上所加的电压很高，等离子体中的离子能够从中获得足够高的能量，从而穿透材料的表面，和晶格原子相碰撞，在材料表面薄层中产生新的化合物，形成新的金相组织结构。因此，通过等离子体源离子注入过程能够获得性能优良的、膜基结合牢固的薄膜，精密部件的表面性能便得到了很大的改善。