简单的说，等离子体就是电离的气体。等离子体技术中最明显的特点就是等离子体具有一定的化学反应特性。可以以一种不同于其他物质的第四状态存在，电子、正负离子、激发态原子、分子以及自由基等粒子等是组成等离子体的主要成分。在性能上表现为一种准中性非凝聚系统。

而微波等离子体具有无电极、大面（复体）积、低能耗、高效率和低成本等多种优点，比之其它电激励类型的等离子体有更高的活性。

微波等离子体的运行气压很宽，从10-3Pa（微波ECR等离子体制）到超过大气压（微波等离子体炬），并且装置的等离子体发生室和处理室可分可合，工艺的灵活性大，无电极放电避免了等离子体对处理物的损伤。

微波等离子体有着广泛的应用，特别适用于新材料（包括薄膜，纤维，粉末以及高性能复合材料等）的制备、金属制品的表面强化和防腐蚀、纺织品的后整理、高聚物聚合及其表面改性、微电子器件及高功率电子器件和光电子器件的制造、纳米材料的制备和器件的开发、高效照明光度源和紫外光源的开发、有毒有害气体的分解净化及其它三废处理等多个工业技术领域。

如今，微波等离子体在高技术产品的等离子体加工技术中越来越起到主导作用。

例如微电子器件的等离子体加工工艺绝大部分都是用微波等离子体设备来实现的；光学级和微电子级的金刚石薄膜通常也是用微波等离子体化知学气相沉积工艺来制备的；光纤的制造和平面光波导器件加工也是道用微波等离子体技术来实现的等等。