微波等离子体放电密度高，电离程度高，放电压力范围宽，没有电极参与反应，不存在电极腐蚀等问题，能量转化率高。微波等离子体频率比射频等离子体更大，典型频率是2.45GHz，等离子体区域更大。

微波等离子体的示意图如下。

微波等离子体示意图

微波等离子体炬的基本构成为：一个微波发生器（固态微波源）、矩形波导组件（包括一个隔离器、一个定向耦合器、一个三相调谐器）、一个石英绝缘管。有研究表明，微波等离子体可以有效热解/气化废轮胎、生物质、废塑料等。

沃特塞恩固态微波源，优于磁控管的微波发生器，它以效率高、高稳定性、寿命长、高效可控等诸多优点，已经替代磁控管广泛用于微波等离子体设备中。