常见问题
来源:wattsine
作者：wattsine
基于微波等离子体的MPCVD-CVD是一种新型的合成金刚石制备方法。它主要以甲烷（CH4）的含碳气体作为碳源。前体的分解和金刚石层的沉积是通过高功率的高频率（2.45GHz）的微波源激励产生的等离子体的作用而发生的。常规的硅晶片（100）通常作为衬底，其在沉积过程中被加热到800-1000℃的温度。
MPCVD设备系统图示
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