低温等离子体技术是一种新型的材料加工处理方法，由于其独特的性能已被应用在许多领域，特别是在表面处理、改性方面有着很多优势特点：

1、可激活高能量的化学反应的同时，反应体系却处于低温；

2、反应仅涉及材料的浅表面，不损伤材料基质；

3、属干式技术，节水节能，降低成本，无公害；

4、反应时间短，效率高，可以实现传统的化学反应所不能实现的反应；

5、可处理形状复杂材料，材料的表面处理均匀性好。



而采用固态微波源作为激发源的低温等离子体设备工作稳定，稳定度高、使用寿命长 ，可使用多种气体，等离子温度可调整，可适应多种应用。