等离子体表面活化是材料表面聚合物官能团被等离子体中的离子替换为不同原子以增加其表面能的过程。等离子体活化常用于处理粘合或印刷的材料表面。

在等离子体作用下，耐火塑料表面出现一些活性原子、自由基和不饱和键。这些活性基团将与等离子体中的活性粒子发生反应，形成新的活性基团。然而，含有活性基团的材料会受到氧的作用或分子段运动的影响，使表面活性基团消失。在等离子体表面处理技术对材料进行表面改性时，由于等离子体中活性粒子对表面分子的作用，表面分子链断裂，产生新的活性基团，如自由基和双键，从而发生表面交联和接枝反应。

由于极性物质的极性和极性的引入，使材料表面的极性和极性增加，从而使材料表面的极性发生变化。另外，在等离子体表面处理器等离子体的高速冲击下，难粘材料的分子链断裂交联，增加了表面分子的相对分子量，改善了弱边界层的条件，对提高表面附着性能也起到了积极的作用。

沃特塞恩微波常压低温等离子喷枪是专业应用于等离子清洗、材料预处理的低温等离子体发生装置。

微波等离子体（此处特指2450MHz频率），相较于中频、高频、射频等电磁频段，其振荡频率更高，可使等离子体中的电子在更小的功率下可以获得更多的能量，等离子体中的电子密度和活性反应物质密度更高。