等离子刻蚀包括微波电子回旋共振等离子体刻蚀(ECR)、反应离子刻蚀(RIE)和感性耦合等离子体刻蚀( ICP)...
等离子清洗技术为塑料、金属、铝或玻璃的后续喷涂工艺提供了最佳的先决条件。
采用干式的常压等离子清洗技术可以在清洗完成之后立即进行后续加工。这项应用,将确保整个工艺流程的清洁和低成本。由于等离子体拥有较高的能量,因此能够选择性分解材料表面化学或有机物质。通过超细清洁,即使是在敏感表面的有害物质,也能彻底清除。这样就为后续的涂层工艺准备了最佳的先决条件。
WSPS-2450-5k-CEWG分体式固态微波功率源是专业应用于ISM领域的固态微波能量设备,可提供高达6KW的连续波或脉冲功率。
WSPS-2450-8k-CEWG分体式固态微波功率源是专业应用于ISM领域的固态微波能量设备,可提供高达8KW的连续波或脉冲功率。
WSPS-2450-10k-CEWG分体式固态微波功率源是专业应用于ISM领域的固态微波能量设备,可提供高达10KW的连续波或脉冲功率。
沃特塞恩高性能射频电源内置高性能功放电路及高速控制模块,可通过自动频率调节(AFT)功能实时变化频率,以实现超快速阻抗匹配,同时具有高工作稳定性及精细功率调节(HALO)功能。专业应用于半导体、光伏、PECVD等领域
WSPS-2450-1500W固态微波功率源是专业应用于ISM领域的固态微波能量设备,可提供高达1.5KW的连续波或脉冲功率,可实现输出功率1-1500W的调节……
沃特塞恩射频电源内置高性能功放电路及高速控制模块,可通过自动频率调节(AFT)功能实时变化频率,以实现超快速阻抗匹配,同时具有高工作稳定性。专业应用于半导体、光伏、PECVD等领域
沃特塞恩提供的固态微波远程等离子体源系统引进了德国领先的等离子体技术,主要由AC-DC电源、3kW固态微波源、远程等离子腔、微波传输波导及隔离器组成。因固态微波远程等离子体源的特殊结构,等离子体在反应区之外的等离子体放电腔中被激发,在保证高电离率与低重组率的同时,为用户提供高浓度、低温度、更均匀的活...