近十几年来,国内外有关微波等离子体在材料制备中的应用发展十分迅速，如制备纳米材料、烧结材料、气相沉积等方面均已见成效,诸多研究结果表明,微波等离子体在材料制备方面的应用具有巨大潜力和工业价值。

其依据在于微波等离子体独有的特点：

1)活性强：微波等离子体对气体的电离和离解程度比其他类型的等离子体(如电弧等离子体)可高10倍以上,因此微波等离子体更能增加气体分子的反应性强;

2)反应区内没有电极,消除了放电电极自身造成的污染,因而适合于高纯度物质的制备和处理,而且工艺效率高;

3)反应区内的压力能在很宽范围内进行调整,工艺调控性好；

4)微波等离子体中自由电子的温度高于离子的温度,其中的化学反应可有更高的反应平衡常数,效率高。正因如此,微波等离子体在材料合成、烧结、沉积以及表面刻蚀、表面处理等方面的应用日益引起人们的重视。

与其它方法相比,经微波等离子法得到的材料往往有更高的品质,同时工艺过程有更好的可控性、重复性以及更高的效率,尤其是在难合成材料的制备上这些优点更加突出。

微波等离子体是怎么形成的呢？

微波等离子体是指：利用微波激发的气体放电而产生的等离子体。如在微波炉中放入金属丝，就会产生放电现象，通称“打火”。微波诱导微放电源是基于“微波带”技术在大气压环境下产生的一种微等离子体,微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等离子体.

从微波等离子的形成过程，我们可以看出其中一个重要的特性来源，那就是“微波”。微波等离子的关键就在于微波能量的产生，它是微波等离子的核心，微波能量是否能稳定高效的传输决定着微波等离子体的功效；目前国内市场上广泛用的是磁控管来产生微波能，但磁控管在使用过程中，众多用户都反映返修率高、寿命短不耐用，而且稳定性不够好。

针对磁控管存在的缺陷，沃特塞恩凭借多年来积累的微波RF技术，研发出了磁控管升级产品—新一代的微波能量源设备—固态功率源。

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