等离子刻蚀即是利用气压为10～1000帕的特定气体（或混合气体）的辉光放电，产生能与薄膜发生离子化学反应的分子或分子基团，生成的反应产物是挥发性的。它在低气压的真空室中被抽走，从而实现刻蚀

微波法诊断等离子体特性是实际诊断中常用的方法。在微波法诊断等离子体特性时，被诊断的等离子体特性不会被微波所干扰，故测得的数据比较精确。

微波等离子体技术属于是干法清洗技术，有着湿法清洗无法比拟的优点，它在清洁材料表面的同时，还能对材料表面进行活化，有利于材料进行下一道的涂覆粘接等工艺。微波等离子体技术广泛应用于等离子清洗、刻蚀、

微波等离子体清洗是通过微波源激发等离子源​将根据工艺选择通入的反应气体（O2/H2/N2/Ar等）离子化，然后离子等物质和表面有机污染物发生化学反应，形成废气被真空泵抽出。被清洗材料表面达到清洗干净目的

低温等离子体技术是交叉综合性技术，集物理学、化学、生物学和环境科学于一体，对污染物兼具物理效应、化学效应和生物效应，且有能耗低、效率高、无二次污染等明显优点。