在化工部门，等离子体化学已成为一个十分活跃的新领域。在微电子工业，等离子体刻蚀和气相沉积应用得十分广泛。以上情况表明，低温等离子体已逐渐渗透到很多领域，展示了广阔的前景。

那么，微波激发等离子体的形式有几种呢？

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今天，沃特塞恩告诉你，微波激发等离子体具有以下几种形式：

1.微波传输线和谐振腔。

2.慢波结构边缘场。

3.近场微波天线。

4.同轴基表面波激发等离子体柱和波导基表面波激发等离子体柱。

5.利用电子回旋共振激发等离子体。