微波等离子体的运行气压很宽，从10-3Pa（微波ECR等离子体）到超过大气压（微波等离子体炬），并且装置的等离子体发生室和处理室可分可合，工艺的灵活性大，无电极放电避免了等离子体对处理物的损伤。科学研究表明微波等离子体具有无电极、大面（体）积、低能耗、高效率和低成本等多种优点，比之其它电激励类型的等离子体有更高的活性。

微波等离子体有着广泛的应用，特别适用于新材料（包括薄膜，纤维，粉末以及高性能复合材料等）的制备、金属制品的表面强化和防腐蚀、纺织品的后整理、高聚物聚合及其表面改性、微电子器件及高功率电子器件和光电子器件的制造、纳米材料的制备和器件的开发、高效照明光源和紫外光源的开发、有毒有害气体的分解净化及其它三废处理等多个工业技术领域。

微波等离子体在高技术产品的等离子体加工技术中将越来越起到主导作用，如用微波等离子体设备来实现微电子器件的等离子体加工工艺；用微波等离子体化学气相沉积工艺（MPCVD）来制备光学级和微电子级的金刚石薄膜；用微波等离子体技术来实现光纤的制造和平面光波导器件加工等等。